1、無塵潔淨室是指為消除一(yī)報銀定空間内空氣中(zhōng)的顆粒、細菌等污染物(wù),将室内溫鄉門度、潔淨度、室内壓力、氣流速度及分(fēn)布、噪聲振動、照明、靜電(d照我iàn)控制在一(yī)定需求範圍内而專門設計建造的無拍時塵潔淨室。
2、潔淨室原則。潔淨室是一(yī)種使用HEPA和空氣淨化設家們備,其塵埃的收集率在99.97~99.99995%,所以用這種過濾器過濾的空業市氣可以說是非常幹淨的。但是潔淨室除了人,還歌上有機器等塵源。一(yī)旦這些産生(shēng)的灰塵擴散,就不可快是能保持一(yī)個幹淨的空間。因此,有必要利用氣流将産生(shē城很ng)的灰塵快速排出室外(wài)。
3、潔淨室的三個灰塵。潔淨室有三個原則:禁塵、帶塵、産塵。空氣淋空議浴房作為進入潔淨室的緩沖通道之一(yī),是控制灰塵的最佳淨化空如設備之一(yī),可以最大(dà)限度地減少員(yuán)工(聽身gōng)進出潔淨室帶來的污染問題。淋浴房的兩個得煙門是電(diàn)子聯鎖的,也可以作為氣閘室,防止外(wà些飛i)界污染和未淨化的空氣進入無塵潔淨區,達到生(shēng)産車(chē)間話東所需的生(shēng)産潔淨環境。
4、潔淨室最重要的作用是控制潔淨度日和産品(如矽片等)所在大(dà)海木氣的溫濕度。讓産品在良好的環境空間裡生(shēng)産制造用科,我(wǒ)(wǒ)們稱之為潔淨室。根據國際慣例,無街鐵塵淨化水平主要是根據每立方米空氣中(zhōng)直徑大(dà是冷)于分(fēn)類标準的顆粒數量來定義的。也就是說,無塵不是1員路00%無塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個标準中(zh喝睡ōng)符合塵埃标準的顆粒相對于我(wǒ)(wǒ)們常見的塵埃來說是非新為常小(xiǎo)的,但是對于光學結構來說,物麗哪怕是一(yī)點點塵埃都會産生(shēng)非常大(dà)的負面影響,所以內答無塵是光學結構産品生(shēng)産中(zhōng校弟)的必然要求。
将粒徑小(xiǎo)于0.5微米的粉塵數量控制在每立方米3光為500以下(xià),達到國際無塵标準A級。目前芯片級生(shēng)産加國通工(gōng)應用的無塵标準對粉塵的要求比A自北級高,這樣高的标準主要用于一(yī)些高等級的芯片喝算生(shēng)産。粉塵量嚴格控制在每立方米1000以内,也就是業内俗中金稱的1K級。
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